复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心(下称工程中心)以智能数控多轴切削、磨削与抛光工艺为主,配备先进的光学检测系统,为集光学理论、精密加工、检测技术和仪器开发为一体的超精密制造和检测研究中心。在上海市经信委支持下建立了超精密光学制造产学研平台,是上海市科委指定的自由曲面测量评定技术中心。主要研究关键性大尺度、具有微米级面形和纳米级表面光洁度的复杂光学器件的设计、加工和检测技术。在过去的几年中,工程中心承担和完成的课题包括 02 专项‘复杂结构光学零部件抛光与关键加工技术的特种装备’、863课题‘光学微纳结构阵列图像传感器模组制造关键技术’以及点火重大专项课题等多项国家重大课题和国防科研任务,参与了多个科技部重点研发计划项目,包括“精密光学器件在线综合检测仪的关键部件研制”,“基于自由曲面的共体光学系统纳米精度制造基础研究”等,在复杂光学元件的加工和检测分析方面做了大量的研究工作,取得了一系列重要成果。
此外,工程中心具有的科研条件还包括:(1)拥有超过 1500平米的超净实验室,温控20±0.5℃,湿度40%-60%以内,可为各类超精密加工与检测提供合适实验场地。 (2)工程中心拥有 ABB 机器人、Precitech Freeform五轴单点金刚石加工中心、DMG超声波辅助加工系统,以及多台数控加工中心等超精密加工设备,可实现各类部件和样品的超精密加工;(3)在测量设备方面,工程中心拥有Carl Zeiss Prismo Ultra三坐标测量机、Talysurf CCI MP 白光干涉仪、Talysurf PGI Dimension三维轮廓仪、4D PhaseCam 6000动态干涉仪、LEXT 4000激光扫描共焦显微镜、Nikon LV150显微镜、Zygo激光相移干涉仪等一系列先进检测仪器设备,具备对各种复杂曲面测量与评估的能力;(4)此外,工程中心拥有 ANSYS、Abuqus等有限元计算分析软件,Zemax、Code V、Lighttools、LightTrans 等专业光学设计建模分析软件,以及 SurfStand、MetroPro等表面计量比对软件。
工程中心未来将在包括半导体光学检测技术及装备、光学3D打印工艺及应用、跨尺度微纳光学集成制造、天基量子成像技术及系统,以及微纳超构表面光量子调控技术等五个方向重点发展,以大装置和小器件两个团队进行科研团队建设,涵盖仪器装备及系统、硅基光电子器件包括超材料、传感、光量子等技术领域。工程中心将始终以引领超精密光学制造及其相关领域的发展与创新为目标,努力建成世界先进、国内领先的工程技术研究中心和人才培养基地。面向国家重大需求,解决先进光学制造核心器件的技术难题和理论突破,为国家安全保障、重大战略实施、先进技术攻关、创新研究发展等提供光学超精密制造技术服务。