激光扫描共焦显微镜(LEXT OLS 4000) 由日本奥林巴斯(Olympus)生产，用于衍射光学器件、MEMS等微纳结构元件检测以及粗糙表面的纹理测量。

       此仪器采用非接触式光学测量，采用共焦模式限制离焦物点成像，从而提高成像清晰度和分辨率。为了完成成个三维表面的测量，采用XY和Ｚ方向分别扫描。纵向坐标由高精度光栅尺获得。

• 具有白光和激光两套光路，可同时获得物体的颜色和三维形貌信息，并且可克服由反射率不同导致的测量差异

• 物镜上方安装偏振分光棱镜，可实现差分相关对比（DIC）显微测量，可以清晰再现微小凹凸

• 机座内置了 “混合减震机构”,可放在普通的桌子进行测量作业，不需要专用的防震平台

• 多层模式可实现对透明样品上表面的观察和测量，而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量

• 搭载了拼接功能，最多可拼接500 幅影像，从而能得到高分辨率和大视场范围的影像数据

• 配备1X到100X不同倍数的复消色差物镜，可根据实际的视场、分辨率、形状的要求，灵活调整