白光干涉仪(Talysurf CCI MP) 由英国著名精密仪器生产商泰勒-霍布森公司(Taylor-Hobson)生产，用于精密衍射光学器件、MEMS、硅片等的结构检测以及加工表面的纹理测量。

       此仪器采用非接触式干涉测量模式，测量速度快，对被测零件不会形成破坏，并且无材料及硬度要求。采用部分相干的白光干涉技术，利用PZT进行纵向扫描，可大大提高测量分辨率。

       仪器配备的分析评定软件Talymap遵照ISO 标准规范，具有完整的面形评定和几何结构分析功能，包括表面粗糙度滤波、分割和模式识别等模块。