课题名称：光学微纳结构阵列图像传感器模组制造关键技术

起止年月：2012.01-2014.12

金额：85万元

       高性能CMOS图像传感器模组是工业检测与控制、多媒体、计算机、监控等产业的核心器件，本项目通过采用结合了单点金刚钻超精密加工技术与软刻蚀技术的微加工技术，以及晶圆级封装技术，以小体积、低功耗、高可靠性、低成本的百万级分辨率、可见光新一代晶圆级图像传感器模组的微纳制造与集成为目标，实现微型成像系统的大规模低成本制造，并解决微纳制造工艺中的基础科学问题。

课题名称：IC装备超精密光学零部件制造研究与平台建设项目

起止年月：2011.01-2014.12金额：12000万元

面向IC装备中以晶圆工件台或掩膜板工件台方镜的制造，突破硬脆材料多尺度复杂功能结构光学零部件的制造难题。作为核心部件，它们在惯导系统、精密测量系统、超精密制造等领域也有重要应用。