时  间

议  程

主持人

内容

主讲人

单位

中心工作讨论

 13:00-13:05

学院领导致欢迎辞

詹义强

复旦大学信息科学与工程学院副院长

赵海斌

 13:05-13:30

 2022年中心工作总结及发展规划

孔令豹

上海超精密光学制造工程技术研究中心主任

学术研讨

 13:30-14:00

电磁场视角下的高维拓扑物理

马少杰

复旦大学青年研究员

孔令豹

 14:00-14:30

半导体芯片缺陷检测技术及装备

杨树明

西安交通大学教授

 14:30-15:00

椭偏光谱技术及其在半导体工艺检测方面的应用

郑玉祥

复旦大学教授

 15:00-15:30

大口径光学元件微纳缺陷检测技术研究

刘东

浙江大学教授

 15:30-16:30

专家代表讲话、讨论

 16:30-16:45

中心技术委员会主任讲话

曹健林

中华人民共和国科学技术部原副部长

 16:45-17:00

中心顾问委员会主任讲话

庄松林

中国工程院院士、上海理工大学光电信息与计算机工程学院院长